太陽能燈97EA9D51D-979
- 型號(hào)太陽能燈97EA9D51D-979
- 密度751 kg/m3
- 長度24541 mm
在光刻機(jī)領(lǐng)域，太陽能燈97EA9D51D-979上海微電子已實(shí)現(xiàn)28納米DUV光刻機(jī)量產(chǎn)，并攻關(guān)EUV光源、雙工作臺(tái)等核心技術(shù)。
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