金屬絲A5C-592166
- 型號金屬絲A5C-592166
- 密度440 kg/m3
- 長度44443 mm
光刻膠如同刻畫電路的顏料，金屬絲A5C-592166它在顯影液中的運動，直接決定電路畫得準不準、好不好，進而影響芯片良率。
金屬絲A5C-592166光刻技術(shù)是推動集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅(qū)動力之一。彭海琳表示，金屬絲A5C-592166冷凍電子斷層掃描技術(shù)為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應(yīng)提供了強大工具。深入掌握液體中聚合物的結(jié)構(gòu)與微觀行為，金屬絲A5C-592166可推動先進制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關(guān)鍵工藝的缺陷控制與良率提升。研究人員最終合成出一張分辨率優(yōu)于5納米的微觀三維全景照片，金屬絲A5C-592166一舉克服了傳統(tǒng)技術(shù)無法原位、三維、高分辨率觀測的三大痛點。顯影是光刻的核心步驟之一，金屬絲A5C-592166通過顯影液溶解光刻膠的曝光區(qū)域，將電路圖案精確轉(zhuǎn)移到硅片上。近日，金屬絲A5C-592166北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院彭海琳教授團隊及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術(shù)，金屬絲A5C-592166首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結(jié)構(gòu)、界面分布與纏結(jié)行為，指導(dǎo)開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產(chǎn)業(yè)化方案。為破解難題，金屬絲A5C-592166研究團隊首次將冷凍電子斷層掃描技術(shù)引入半導(dǎo)體領(lǐng)域。
